痕量元素（半导体超痕量分析的难点解析来了）

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ICP-MS对痕量元素测定的应用

随着当前科学技术的进步，借助高端仪器对于未知样品进行检测分析变得尤为重要，其中质谱（MS）仪器作为分析仪器中的高端仪器之一，在分析检测中充当了重要角色。质谱分析是一种通过将运动的粒子分离后，按质荷比进行测试。离子源是质谱的重要组成部分，其中电感耦合等离子体就是一种离子源，其优势在于解离足够完全，电离度高，分子碎片少，灵敏度高，大多数的元素都能被被电离成单电荷离子。

电感耦合等离子体质谱法原理：样品经氩气（Ar）带入进样系统，雾化后，在ICP的火焰作用下离子化，离子进入借口后进入离子镜聚焦，由四极杆质谱仪按质荷比分离，后在检测器中出现分析结果。

其具有的主要优点有：能快速分析多种元素，检出限低，灵敏度高，具有较宽的线性动态范围，可以进行同位素分析干扰少，样品的引入和更换方便，可进行

跳峰，扫描，跳扫结合等多种方式；分析精度高，短期精密度 RSD 为 1%-2%；长期精密度为 RSD 小于 5%。

ICP-MS是超痕量测定的重要手段之一，同时其又可进行多元素的测试，因而具有其他测试方式所没有的优势，目前已被用于痕量元素分析的的通用手段。

微源检测推出一款Thermo Scientific iCAP RQ ICP-MS，研究多种实验方法，为实验室痕量元素检测及多元素检测提供完整方案。